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Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 2800 IT
上海伯東德國 Pfeiffer 新推出離子注入系統(tǒng)專用渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在離子注入系統(tǒng)中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的轉子設計保證小分子氣體絕佳的抽速, 確保了針對離子注入工藝的最佳工藝適應性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達 2600 l / s, 是同級別分子泵中佼佼者.
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能溫度管理系統(tǒng), 減少泵系統(tǒng)內(nèi)部的工藝冷凝和沉積, 該系統(tǒng)允許單獨設置溫度, 確保渦輪分子泵能夠最佳地適應工藝需求. 鍍鎳轉子確保泵本身耐用性.
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 產(chǎn)品優(yōu)勢
1. 氫氣抽速高達 2600 l / s
2. 鍍鎳轉子更耐用
3. 采用智能溫度管理系統(tǒng),能自適應工藝條件, 減少泵內(nèi)冷凝和沉積
4. 使用壽命更長
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 技術參數(shù)
法蘭（進氣端） | DN 250 ISO-F |
法蘭（出氣端） | DN 40 ISO-KF |
排氣連接 | G 1/8“ |
氮氣抽速 | 2,300 l/s |
氬氣抽速 | 2,100 l/s |
氦氣抽速 | 2,900 l/s |
氫氣抽速 | 2,600 l/s |
轉速 | ?2 % 27,300 rpm |
運行時間 | 8.6 min |
在全轉速情況下的氮氣氣流量 | 16 hPa l/s |
在全轉速情況下的氬氣氣流量 | 11 hPa l/s |
在全轉速情況下的氫氣氣流量 | 50 hPa l/s |
在全轉速情況下的氦氣氣流量 | 24 hPa l/s |
氮氣壓縮比 | > 1X108 |
氬氣壓縮比 | > 1X108 |
氦氣壓縮比 | 6X104 |
氫氣壓縮比 | 4X103 |
氮氣最大前級真空 | 0.8 hPa |
根據(jù) PNEUROP 的極限壓力 | < 1X10-7 hPa |
重量 | 62 kg |
冷卻方法 | 水 |
冷卻水耗量 | 100 l/h |
冷卻水溫度 | 15 – 25 ?C |
接口 | E74, RS-485 |
最大允許磁場 | 3.4 mT |
聲壓水平 | < 50 dB(A) |
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領域: 離子注入機, 苛刻工藝
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT尺寸
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型號
型號 | 訂貨號 |
HiPace 2800 IT | PM P05 241 |
HiPace 2800 IUT | PM P05 246 |
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