硅材料――因其具有耐高溫和抗輻射性能較好，特別適宜制作大功率器件的特性而成為應(yīng)用最多的一種半導(dǎo)體材料，目前的集成電路半導(dǎo)體器件大多數(shù)是用硅材料制造的。現(xiàn)在，我們的生活中處處可見“硅”的身影和作用，晶體硅太陽(yáng)能電池是近15年來形成產(chǎn)業(yè)化最快的。
多晶硅片,半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)， 有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。
有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬 金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬如鈉 等，引起嚴(yán)重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。所以清洗多晶硅、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏電池板必須用超純水，目前制取超純水工藝可分為反滲透 混床超純水設(shè)備，二是反滲透 EDI超純水設(shè)備，這是兩種制取超純水設(shè)備常用的工藝。
處理工藝：
預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對(duì)象(≥18MΩCM)(傳統(tǒng)工藝)
預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-02或05Hm精密過濾器-用水對(duì)象(≥18MΩCM)(最新工藝)
預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲遺(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺南器-02或0.5m精密過濾器-用水對(duì)象(>17MΩCM)(最新)
預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5精密過濾器-用水對(duì)象(≥15MΩCM)(最新工藝)
預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺藥器-精密過濾器-用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
