功能特性:高精度切割:在半導體制造領(lǐng)域,可驅(qū)動伺服電機實現(xiàn) ?0.001mm 級的切割精度,適配 36000 - 50000RPM 的高速主軸,能滿足晶圓精密切割以及薄芯片加工等工藝要求,例如支持 DAF(Die Attach Film)工藝的疊層切割,有效減少材料損耗。
高響應頻率控制:在硬脆材料加工中,如玻璃 / 陶瓷切割,通過高響應頻率控制可降低切割崩邊率,并且可集成水刀系統(tǒng)實現(xiàn)曲線切割。
系統(tǒng)協(xié)同控制:內(nèi)置標準接口,支持與機器人、傳送帶等設備聯(lián)動,可實現(xiàn)自動化產(chǎn)線集成。還能兼容沙迪克 CNC 或松下 MINAS 驅(qū)動器,實現(xiàn)多軸聯(lián)動,完成復雜軌跡控制。
故障診斷保護:具備實時監(jiān)控功能,可對轉(zhuǎn)速、溫度等參數(shù)進行監(jiān)測,異常時自動觸發(fā)保護機制,有助于及時發(fā)現(xiàn)和解決問題,保障設備安全運行。
性能參數(shù):文中未明確給出該驅(qū)動器詳細的電氣性能參數(shù),但從應用角度可知其能適配特定的高速主軸和伺服電機,滿足一定的切割工藝要求,如額定 300 刀 /min 但有達到 400 刀 /min 的能力,電機能在額定 2000 轉(zhuǎn) - 2500 轉(zhuǎn)的范圍運行。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu):采用單框架結(jié)構(gòu),為 8 槽框架,I/O 容量 256 點。通過 PLC 與變頻器、伺服通過 MODBUS 通信連接,根據(jù)變頻器頻率、減速皮帶、異步電機額定轉(zhuǎn)速等參數(shù)計算編碼器輸出的差分脈沖,并相應修改伺服的齒輪比來改變伺服速度,實現(xiàn)與異步電機的同步跟隨。
該驅(qū)動器需配合 DISCO 專用工控系統(tǒng)使用,維修時需專業(yè)上機測試服務。
A860-2070-T321 ;
A06B-2078-B103 ; ;
SK-R9-FAN11-F7A ; ;
20-750-CFANKIT-F8 ;
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