價(jià)格：面議瀏覽：358次聯(lián)系：張婷婷 / 15021001340 / 0755-25473928企業(yè)：伯東貿(mào)易(深圳)有限公司留言店鋪收藏
產(chǎn)品描述上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 3000 最適合大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對(duì)比, eH 3000 是目前市場上最高效, 提供最高離子束流的離子源.
尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6“
放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體
美國 KRI 霍爾離子源 eH 3000 產(chǎn)品特性：伯東 KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性：
1.水冷 - 加速冷卻
2.可拆卸陽極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時(shí),最大限度地減少停機(jī)時(shí)間; 即插即用備用陽極
3.寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
4.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便
5.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制
美國 KRI 霍爾離子源 eH 3000 技術(shù)參數(shù)：KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術(shù)參數(shù):
離子源型號(hào)
| 霍爾離子源 eH3000 |
Cathode/Neutralizer | HC |
電壓 | 50-250V |
電流 | 20A |
散射角度 | >45 |
| 可充氣體 | Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others |
氣體流量 | 5-100sccm |
高度 | 6.0“ |
直徑 | 9.7“ |
水冷 | 可選 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
美國 KRI 霍爾離子源 eH 3000 應(yīng)用領(lǐng)域：伯東 KRI 霍爾離子源 eH 3000 應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
2. 輔助鍍膜 ( 光學(xué)鍍膜 ) IBAD
3. 表面改性, 激活 SM
4. 直接沉積 DD
業(yè)務(wù)咨詢：932174181 媒體合作：2279387437 24小時(shí)服務(wù)熱線：15136468001 盤古機(jī)械網(wǎng) － 全面、科學(xué)的機(jī)械行業(yè)免費(fèi)發(fā)布信息網(wǎng)站 Copyright 2017 PGJXO.COM 豫ICP備12019803號(hào)