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云南某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140離子束濺射制備尺寸均勻、高密度的 MnGe 量子點(diǎn), MnGe 量子點(diǎn)屬于半導(dǎo)體量子材料的領(lǐng)域.
伯東 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | RFICP 140 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >600 mA |
離子動(dòng)能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 14 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長(zhǎng)度 | 24.6 cm |
直徑 | 24.6 cm |
中和器 | LFN 2000 |
運(yùn)行結(jié)果:
KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 可控性強(qiáng), 制備工藝簡(jiǎn)單, 具有較強(qiáng)的商業(yè)價(jià)值.
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.
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