在半導(dǎo)體和集成電路工藝中，材料、晶圓、芯片的測(cè)試是必不可少的環(huán)節(jié)。數(shù)字源表SMU具備源測(cè)功能，可以產(chǎn)生電流-電壓(I-V)特性曲線，是半導(dǎo)體材料、器件電性能表征測(cè)量的核心。在測(cè)試時(shí)，通過(guò)數(shù)字源表提供激勵(lì)并對(duì)測(cè)量信號(hào)進(jìn)行采集，首先將電流或電壓輸入被測(cè)器件（DUT），測(cè)量該器件對(duì)此輸入信號(hào)的響應(yīng)；這些信號(hào)的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號(hào)通過(guò)探針至芯片。
普賽斯數(shù)字源表集電壓源、電流源、電壓表、電流表、電子負(fù)載功能于一體，支持四象限工作、微弱電流10pA輸出測(cè)量、3500V高壓下nA級(jí)測(cè)量、1000A脈沖大電流輸出，全系列產(chǎn)品豐富，新推出更高精度、更大直流的SXXB系列高精度數(shù)字源表，相比于傳統(tǒng)S系列源表，準(zhǔn)確度提升至?0.03%，直流電流升級(jí)至3A，可為半導(dǎo)體行業(yè)提供更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定的測(cè)試方案；晶圓/芯片微弱電流測(cè)試VI源表認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表，詳詢18140663476
產(chǎn)品特點(diǎn)
5寸800*480觸摸顯示屏，全圖形化操作
內(nèi)置強(qiáng)大的功能軟件，加速用戶完成測(cè)試，如LIV、PIV
源及測(cè)量的準(zhǔn)確度為0.03%
四象限工作（源和肼），源及測(cè)量范圍：高至300V，低至3pA
豐富的掃描模式，支持線性掃描、指數(shù)掃描及用戶自定義掃描
支持USB存儲(chǔ)，一鍵導(dǎo)出測(cè)試報(bào)告
支持多種通訊方式，RS-232、GPIB及以太網(wǎng)
技術(shù)參數(shù)
源限度-電壓源：?10V（≤3A量程），?30V（≤1A量程），?300V（≤100mA量程）；
源限度-電流源：?3A（≤10V量程），?1A（≤30V量程），?100mA（≤300V量程）；
過(guò)量程： 105%量程，源和測(cè)量；
穩(wěn)定負(fù)載電容：<22nF；
寬帶噪聲(20MHz)：2mV RMS（典型值），<20mV Vp-p（典型值）；
線纜保護(hù)電壓：輸出阻抗30KΩ，輸出電壓偏移<80mV；
最大采樣速率：S系列1000 S/s，SXXB系列32000S/s;
觸發(fā)：支持IO觸發(fā)輸入及輸出，觸發(fā)極性可配置；
輸出接口：前后面板香蕉頭插座輸出，同一時(shí)刻只能用前或者后面板接口；
通信口：RS-232、GPIB、以太網(wǎng)；
電源：AC 100~240V 50/60Hz；
工作環(huán)境：25?10℃；
尺寸：106mm高 ? 255mm寬 ?425mm長(zhǎng)；
重量：5KG
質(zhì)保期：1年
S系列源表應(yīng)用
分立器件特性測(cè)試：電阻、二極管、發(fā)光二極管、齊納二極管、PIN二極管、BJT三極管、MOSFET、SiC、GaN等器件；
能量與效率特性測(cè)試：LED/AMOLED、太陽(yáng)能、電池、DC/DC轉(zhuǎn)換器；
傳感器特性測(cè)試：電阻率、霍爾效應(yīng)等；
有機(jī)材料特性測(cè)試：電子墨水、印刷電子技術(shù)等；
納米材料特性測(cè)試：石墨烯、納米線等；
激光器特性測(cè)試：窄脈沖LIV測(cè)試系統(tǒng)；
功率器件：靜態(tài)測(cè)試系統(tǒng)；
電流傳感器：動(dòng)靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)；
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