CI超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。蝶門經(jīng)過(guò)兩次動(dòng)作完成關(guān)閉或打開(kāi)蝶門的過(guò)程，閥體的兩面沒(méi)有正反面安裝方向，閥們的壓強(qiáng)范圍可拓寬到2x105-6.7x10-7Pa.適用介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
主要技術(shù)性能
適用范圍： | 2x105~6.7x10-7Pa |
閥門漏率： | ≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向) |
適用溫度： | -30~ 80℃ |
安裝狀態(tài)： | 任意 |
安裝方向： | 任意 |
開(kāi)啟壓差： | 推薦值：1x105Pa; 最大值：2x105Pa. |
開(kāi)門角度： | 0-90?任意調(diào)節(jié) |
外形及連接尺寸(mm) 
型號(hào) | DN | D | Do | D1 | B | H | B1 | n-Mc |
CI-63 | 63 | 130 | 110 | 68 | 40 | 165 | 82 | 4-M8 |
CI-80 | 80 | 145 | 125 | 85 | 40 | 173 | 82 | 8-M8 |
CI-100 | 100 | 165 | 145 | 105 | 40 | 183 | 82 | 8-M8 |
CI-160 | 160 | 225 | 200 | 165 | 52 | 220 | 90 | 8-M10 |
CI-200 | 200 | 285 | 260 | 208 | 62 | 245 | 94 | 12-M10 |
CI-250 | 250 | 335 | 310 | 258 | 74 | 280 | 100 | 12-M10 |
CI-320 | 320 | 425 | 395 | 328 | 90 | 330 | 125 | 12-M12 |
CI-400 | 400 | 510 | 480 | 410 | 106 | 360 | 160 | 16-M12 |
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