產(chǎn)品

高溫四端子壓實(shí)密度電阻率測(cè)試儀 ； 適用范圍

●使?四探針治具測(cè)試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、?屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率

●使?開(kāi)爾?測(cè)試夾直接測(cè)試電阻器直流電阻；

高溫四端子壓實(shí)密度電阻率測(cè)試儀 ； 適用行業(yè)：:

用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

雙電測(cè)四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測(cè)量。設(shè)計(jì)參照單晶硅物理測(cè)試方法并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。

特點(diǎn)：

●電阻最?精度：0.01%，最小分辨率0.1uΩ；

●方電阻精度：1%，最小分辨率：0.1uΩ；

●雙電測(cè)原理，提?精度和穩(wěn)定性；

●測(cè)試探頭直排和矩形可選；

●標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接?；

●可配戴軟件查看和記錄測(cè)試數(shù)據(jù)；

參數(shù)：

參數(shù)

1.便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2.基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3.精度高：電阻基本準(zhǔn)確度：0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

4.整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差：≤?1%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤?1%

5.四位半顯示讀數(shù)；十量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選；實(shí)現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選

6.測(cè)量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10 8Ω；方阻：10-7Ω/□～10 8Ω/□；

7.正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

8.恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。

9.可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

10.校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。

11.厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率，無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率。

12.自動(dòng)進(jìn)行電流換向，并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量，顯示平均值.測(cè)薄片時(shí)，可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13.雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

14.具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。

15.比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16.測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

17.軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

析。

18.顯示語(yǔ)言 英文/中文

19.供電模式110v/220v

高溫塑料薄膜的測(cè)試需求（溫度適應(yīng)性、測(cè)量精度、樣品兼容性等），以下是選型要點(diǎn)：

. 一、核心選型要素 .

. 測(cè)量原理與精度 .

. 三電極法 . ：符合 . GB/T 10518-2006 . 標(biāo)準(zhǔn)，適合絕緣材料高溫電阻率測(cè)試。

. 四探針?lè)?. ：適用于薄膜類材料，可測(cè)方塊電阻和電阻率，支持溫度-電阻曲線分析。

. 電阻范圍 . ：至少覆蓋 . 10 . ~101 . Ω . ，高阻值段（>；1012Ω）誤差需≤?20%。

. 樣品兼容性 .

. 夾具要求 . ：薄膜樣品直徑應(yīng)≥100mm（不足需定制電極）。

. 測(cè)試方式 . ：表面電阻與體積電阻需分開(kāi)測(cè)量，且必須先測(cè)表面電阻。

. 二、推薦對(duì)比 .

. . 溫度范圍 . . 測(cè)量原理 . . 關(guān)鍵優(yōu)勢(shì) . . 適用標(biāo)準(zhǔn) .

. -160℃~500℃三電極法支持介質(zhì)損耗/介電常數(shù)測(cè)試，控溫精度?0.5℃GB/T 1409、ASTM D150

. 高溫真空/氣氛環(huán)境三環(huán)電極法鉑導(dǎo)線防信號(hào)衰減，觸摸屏操作便捷GB/T 10518、ASTM

高溫箱集成四探針?lè)ㄗ詣?dòng)繪制溫度-電阻率曲線，適合導(dǎo)電薄膜分析半導(dǎo)體材料標(biāo)準(zhǔn)

. 未明確高溫范圍11通用法觸控操作，支持固體/液體/薄膜，  ； ；GB/T 1410、ASTM D25711

.

. 三、操作注意事項(xiàng) .

. 試樣預(yù)處理 . ：確保薄膜表面平整、無(wú)損傷，避免雜質(zhì)干擾。

. 環(huán)境控制 . ：多數(shù)儀器工作環(huán)境為0℃~40℃ . . . ，高溫測(cè)試需外接溫控設(shè)備。

. 數(shù)據(jù)校準(zhǔn) . ：定期校驗(yàn)儀器，高阻值（>；1012Ω）段需重點(diǎn)驗(yàn)證精度。

直流絕緣電阻率測(cè)量?jī)x測(cè)量范圍"這個(gè)技術(shù)參數(shù)上，看來(lái)是在做設(shè)備選型或測(cè)試方案設(shè)計(jì)。從對(duì)話歷史看，用戶之前研究過(guò)固體表面電阻檢測(cè)儀，現(xiàn)在轉(zhuǎn)向更專業(yè)的絕緣材料測(cè)試設(shè)備，可能是電子制造或電力行業(yè)的工程師。

需要特別注意幾個(gè)關(guān)鍵矛盾點(diǎn)：提到通用范圍是0.1MΩ-1000MΩ，但的絕緣子測(cè)試儀量程標(biāo)到1999MΩ，的高端設(shè)備甚至到400GΩ，這個(gè)差異其實(shí)對(duì)應(yīng)不同電壓等級(jí)——5000V檔和10000V檔的量程上限不同。

用戶沒(méi)有明確測(cè)量對(duì)象，需要覆蓋多種可能性。電力設(shè)備方面，提到的10000V/400GΩ適用于750kV變電站，而的500V/0.5MΩ適用于直流系統(tǒng)接地檢測(cè)。有意思的是展示的量程擴(kuò)展規(guī)律：500V對(duì)應(yīng)20GΩ，5000V對(duì)應(yīng)200GΩ，說(shuō)明電壓檔位和量程呈正相關(guān)，這個(gè)規(guī)律對(duì)用戶選型很重要。

準(zhǔn)備用分層方式組織答案：先按應(yīng)用場(chǎng)景分電力設(shè)備/電子元器件/綜合測(cè)試三類，再在每類中標(biāo)明電壓-量程對(duì)應(yīng)關(guān)系。表格會(huì)比純文字更清晰，比如把的5000V/1999MΩ和的5000V/200GΩ對(duì)比列出來(lái)，用戶能直觀看到同電壓檔位的量程差異源于儀器精度不同。

需要特別注意時(shí)間有效性。的直流系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)是2022年的，而的400GΩ設(shè)備標(biāo)注2025年6月，說(shuō)明高端設(shè)備量程在提升，這個(gè)時(shí)效性要在回答中體現(xiàn)。

溫控范圍與精度 .

優(yōu)先選擇寬溫域機(jī)型：如 . GDW-500 . （ . -160℃~500℃ . ）或 . HTIM-1000 . （真空/氣氛環(huán)境）。

控溫精度需 . ≤?0.5℃ . （如GDW-500），避免波動(dòng)導(dǎo)致阻值漂移。

. 溫場(chǎng)均勻性 .

樣品區(qū)域溫差應(yīng) . <；?2℃ . ，確保薄膜受熱均勻?？赏ㄟ^(guò)紅外熱成像驗(yàn)證設(shè)備溫場(chǎng)分布。

操作限制與風(fēng)險(xiǎn)規(guī)避

. 儀器工作環(huán)境約束 .

多數(shù)電阻率測(cè)試儀主機(jī)僅適應(yīng) . 0℃~40℃ . 環(huán)境，高溫測(cè)試需外接獨(dú)立溫控腔體（如GDW-500的液氮制冷系統(tǒng)）。

. 樣品預(yù)處理要求 .

高溫測(cè)試前需在目標(biāo)溫度下恒溫 . ≥30分鐘 . ，消除熱歷史效應(yīng)。

. . 選型推薦表

. 材料類型 . . 建議恒溫范圍 . . . . 關(guān)鍵優(yōu)勢(shì) .

. 通用塑料薄膜 . 室溫~300℃性價(jià)比高，操作簡(jiǎn)便

. 耐高溫薄膜 . -70℃~500℃寬溫域，液氮制冷，精度?0.5℃

. 導(dǎo)電/半導(dǎo)體膜 . 真空環(huán)境~600℃鉑電極防氧化，支持氣氛控制

. 注 . ：極端條件測(cè)試（如>；500℃）需定制設(shè)備，并確認(rèn)電極材料（如鉑金）與夾具的耐溫性

使用高電阻絕緣奢侈可以改善測(cè)量誤差，但這種方法將使儀器昂貴而又笨重，而且對(duì)高阻值試樣的測(cè)量仍不能得到滿意的結(jié)果.較為滿意的改進(jìn)方法是使用保護(hù)技術(shù)，即在所有主要的絕緣部位安置保護(hù)導(dǎo)體，通過(guò)它截信了各種可能引起誤差的雜散電流；將這些導(dǎo)電聯(lián)接在一起組成保護(hù)系統(tǒng)，并與測(cè)量端形成一個(gè)三端網(wǎng)絡(luò).當(dāng)線路連接恰當(dāng)時(shí)，所有外來(lái)寄生電壓的雜散電流被子保護(hù)系統(tǒng)分流到測(cè)量電路以下，這就可大大減少誤差的可能性.

　　在系統(tǒng)的保護(hù)端和被保護(hù)端之間存在的電解電勢(shì)，接觸電勢(shì)或熱電運(yùn)勢(shì)較小時(shí)，均能補(bǔ)償?shù)簦顾鼈冊(cè)跍y(cè)量中不引起顯著誤差.

　　在電流測(cè)量中，由于被保護(hù)端和保護(hù)端之間的電阻與電流測(cè)量裝置并聯(lián)可能產(chǎn)生誤差，因此前者至少應(yīng)為電流測(cè)量裝置輸入電阻的10倍，好為100倍.在電橋法測(cè)量中，保護(hù)端與測(cè)量端帶有大致相同的電位，但電橋中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)電阻與不保護(hù)端和保護(hù)端之間的電阻并聯(lián)，因此，后者至少為標(biāo)準(zhǔn)電阻的10倍，好20倍.

　　在開(kāi)始測(cè)試前先斷開(kāi)電源和試樣的連線進(jìn)行一次測(cè)量，此時(shí)設(shè)備應(yīng)在它的靈敏度許可范圍內(nèi)指示無(wú)窮大的電阻.可用一些已知值的標(biāo)準(zhǔn)電阻業(yè)檢查設(shè)備運(yùn)行是否良好.

　　體積電阻率為了測(cè)業(yè)體積電阻率，使用的保護(hù)系統(tǒng)應(yīng)能抵消由表面電流引起的誤差.對(duì)表面泄漏可忽略的試樣，在測(cè)量體積電阻時(shí)可以去掉保護(hù).

 ；

在被保護(hù)電極與保護(hù)電極之間的試樣表面上的間隙寬度要均勻，并且在表面泄漏不致引起測(cè)量誤差的條件下間隙應(yīng)盡可能窄，實(shí)際使用時(shí)最小為1MM.

電導(dǎo)和電導(dǎo)率是什么關(guān)系：

電導(dǎo)率，物理學(xué)概念，指在介質(zhì)中該量與電場(chǎng)強(qiáng)度之積等于傳導(dǎo)電流密度。對(duì)于各向同性介質(zhì)，電導(dǎo)率是標(biāo)量；對(duì)于各向異性介質(zhì)，電導(dǎo)率是張量。生態(tài)學(xué)中，電導(dǎo)率是以數(shù)字表示的溶液傳導(dǎo)電流的能力。單位以西門子每米（S/m）表示。

（1）英文：conductivity(orspecific conductance)

（2）定義：電阻率的倒數(shù)為電導(dǎo)率，用希臘字母κ表示（或者γ[1]），κ=1/ρ。除非特別指明，電導(dǎo)率的測(cè)量溫度是標(biāo)準(zhǔn)溫度（25 ?C）。

（3）單位：在國(guó)際單位制中，電導(dǎo)率的單位稱為西門子/米（S/m），其它單位有：MS/m，S/cm，μS/cm。1S/m=1000mS/m=1000000μS/m=10mS/cm=10000μS/cm。

（4）說(shuō)明：電導(dǎo)率的物理意義是表示物質(zhì)導(dǎo)電的性能。電導(dǎo)率越大則導(dǎo)電性能越強(qiáng)，反之越小。另外，不少人將電導(dǎo)跟電導(dǎo)率混淆：電導(dǎo)是電阻的倒數(shù)，電導(dǎo)率是電阻率的倒數(shù)。

符合標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T 1410-2006固體絕緣材料 體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法

GB 12014防靜電工作服

GB/T 20991-2007個(gè)體防護(hù)裝備 鞋的測(cè)試方法

GB 4385-1995防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求

GB 12158-2006防止靜電事故通用導(dǎo)則

GB 4655-2003橡膠工業(yè)靜電安全規(guī)程

GB/T 12703.4-2010紡織品 靜電性能的評(píng)定 第4部分 電阻率

GB/T 12703.6-2010紡織品 靜電性能的評(píng)定 第6部分 纖維泄漏電阻

GB 13348-2009液體石油產(chǎn)品靜電安全規(guī)程

GB/T 15738-2008導(dǎo)電和抗靜電纖維增強(qiáng)塑料電阻率試驗(yàn)方法

GB/T 18044-2008地毯 靜電習(xí)性評(píng)價(jià)法 行走試驗(yàn)

GB/T 18864-2002硫化橡膠 工業(yè)用抗靜電和導(dǎo)電產(chǎn)品 電阻極限范圍

GB/T 22042-2008服裝 防靜電性能 表面電阻率試驗(yàn)方法

GB/T 22043-2008服裝 防靜電性能 通過(guò)材料的電阻（垂直電阻）試驗(yàn)方法

GB/T 24249-2009防靜電潔凈織物

GB 26539-2011防靜電陶瓷磚Antistatic ceramic tiles

GB/T 26825-2011抗靜電防腐膠

GB 50515-2010導(dǎo)（防）靜電地面設(shè)計(jì)規(guī)范

GB 50611-2010電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范

GJB 105-1998-Z電子產(chǎn)品防靜電放電控制手冊(cè)

GJB 3007A-2009防靜電工作區(qū)技術(shù)要求

GJB 5104-2004無(wú)線電引信風(fēng)帽用防靜電涂料及風(fēng)帽靜電性能通用要求

產(chǎn)品保修承諾：

1、免費(fèi)送貨到用戶指定的地點(diǎn)，免費(fèi)指導(dǎo)安裝、培訓(xùn)及調(diào)試。

2、保修期內(nèi)人為損壞的零部件按采購(gòu)（加工）價(jià)格收費(fèi)更換。

3、保修期外繼續(xù)為用戶提供優(yōu)質(zhì)技術(shù)服務(wù)，在接到用戶維修邀請(qǐng)后3天內(nèi)派工程師到達(dá)用戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修。并享有優(yōu)惠購(gòu)買零配件的待遇。

4、傳感器過(guò)載及整機(jī)電路超壓損壞不在保修范圍內(nèi)。

5、產(chǎn)品質(zhì)保期：自安裝正常使用日起一年；

6、軟件升級(jí)：終生免費(fèi)提供新版本控制軟件。