產(chǎn)品

四端子壓實(shí)密度電阻率測試儀

四端子壓實(shí)密度電阻率測試儀 ；適用行業(yè)：:

用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

雙電測四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測量。設(shè)計(jì)參照單晶硅物理測試方法并參考美國 ；A.S.T.M ；標(biāo)準(zhǔn)。

適用范圍

● ；使?四探針治具測試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、?屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率

● ；使?開爾?測試夾直接測試電阻器直流電阻；

原理： .

. 核心：開爾文四線法（四端子法） . ：

一對電極（C1， ；C2）施加恒定電流（I）。

另一對電極（P1， ；P2）位于接觸界面附近測量電壓降（V）。

. 接觸電阻 ；Rc = V / I .  ；（消除了引線電阻和部分體電阻）。

. 專用夾具： .  ；精確控制接觸壓力（通過砝碼、氣動(dòng)、伺服電機(jī)），穩(wěn)定固定樣品。

. 微電流/電壓測量： .  ；使用精密源表（SMU）或微歐計(jì)提供穩(wěn)定電流（通常幾mA~幾A），測量 ；μV ；級電壓。

. 接觸電阻率（ρc）估算難點(diǎn)： .

. 有效接觸面積（A）未知： .  ；宏觀接觸是多個(gè)微觀接觸點(diǎn)的集合，真實(shí) ；A ；遠(yuǎn)小于表觀面積。

. 解決方法： .

在 . 不同可控壓力下 . 測量 ；Rc（壓力↑ → ；接觸點(diǎn)數(shù)量/面積↑ → Rc↓）。

結(jié)合 . 接觸力學(xué)模型 . （如 ；Holm ；模型）估算平均接觸面積（復(fù)雜，多為研究用）。

. 工業(yè)實(shí)踐通常直接報(bào)告接觸電阻（Rc）值及其測試條件（壓力、電流） . ，作為可靠性指標(biāo)。ρc ；較少直接報(bào)告。

參數(shù)

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

4. 整機(jī)測量最大相對誤差：≤?1%；整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤?1%

5. 四位半顯示讀數(shù)；十量程自動(dòng)或手動(dòng)測試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ ；10檔分選；實(shí)現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選

6. 測量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10 8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10 8Ω/□；

7. 正反向電流源修正測量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時(shí)，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

9. 可配合多種探頭進(jìn)行測試；也可配合多種測試臺(tái)進(jìn)行測試。

10. 校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測試量程 全量程自動(dòng)清零。

11. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率，無需查表即可計(jì)算出電阻率。

12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向，并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量，顯示平均值.測薄片時(shí)，可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13. 雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好.

14. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16. 測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機(jī)測試。

17. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

析。

18.顯示語言 英文/中文

19.供電模式110v/220v

半導(dǎo)體接觸電阻率（ρc）： .

. 必須制備 ；TLM ；或 ；CBKR ；測試結(jié)構(gòu)（光刻）。 .

. 核心儀器：半導(dǎo)體參數(shù)分析儀（Keysight B1500A/B1505A， Keithley 4200A-SCS） ；  ；精密探針臺(tái)。 .

. 宏觀接觸電阻（Rc）測量（連接器、開關(guān)等）： .

. 核心方法：開爾文四線法（消除引線電阻）。 .

. 核心設(shè)備： .

. 高精度源表（SMU）如 ；Keithley 2450 ；或精密微歐計(jì)（如 ；IET RMO）。 .

. 專用的、符合標(biāo)準(zhǔn)（如 ；EIA-364-23C）的接觸電阻測試夾具（關(guān)鍵！需精確壓力控制）。 .

. 工業(yè)質(zhì)檢首選： .  ；考慮集成化的專用接觸電阻測試儀（如菊水PCR）。

. 報(bào)告 ；ρc ；的挑戰(zhàn)： .  ；宏觀接觸中，有效接觸面積難以精確測定， . 直接報(bào)告 ；Rc ；及其測試條件（壓力、電流）是工業(yè)通行做法 . 。需 ；ρc ；時(shí)通常限于微觀可控結(jié)構(gòu)（如半導(dǎo)體）或研究場景。

. 選擇前務(wù)必詳細(xì)說明：測量對象（具體是什么接觸界面）、目標(biāo)參數(shù)（Rc/ρc）、精度要求、壓力范圍、是否需要符合標(biāo)準(zhǔn)以及預(yù)算范圍。這將有助于推薦最合適的儀器配置（硬件 夾具）。

范圍：

1本試驗(yàn)方法包含直流絕緣電阻，體積電阻和表面電阻的測量所用直流程序。通過該測量及樣本和電極的幾何尺寸，可以計(jì)算出電絕緣材料的體積電阻和表面電阻，同時(shí)還可以計(jì)算出相應(yīng)的電導(dǎo)和電導(dǎo)率。

2這些試驗(yàn)方法不適用于測量中等導(dǎo)電材料的電阻/電導(dǎo)。這些材料評估可采用試驗(yàn)方法D4496。

3本標(biāo)準(zhǔn)描述了幾種可選擇的測量電阻（或電導(dǎo)）的普通備用方法。特殊材料科采用合適的標(biāo)準(zhǔn)ASTM試驗(yàn)方法進(jìn)行測試，這些特殊材料具有電壓應(yīng)力范圍和有限起電時(shí)間，同時(shí)規(guī)定了樣本結(jié)構(gòu)和電極幾何形狀。這些個(gè)別特殊試驗(yàn)方法將能更好得定義測量值的精度和偏差。

4本標(biāo)準(zhǔn)并沒有完全列舉所有的安全聲明，如果有必要，根據(jù)實(shí)際使用情況進(jìn)行斟酌。使用本規(guī)范前，使用者有責(zé)任制定符合安全和健康要求的條例和規(guī)范，并明確該規(guī)范的使用范圍。

電導(dǎo)率與電阻的關(guān)系

R=ρl=l/σ

(1)定義或解釋 電阻率的倒數(shù)為電導(dǎo)率。σ=1/ρ (2)單位: ；在國際單位制中，電導(dǎo)率的單位是西門子/米。 ；(3)說明 電導(dǎo)率的物理意義是表示物質(zhì)導(dǎo)電的性能。電導(dǎo)率越大則導(dǎo)電性能越強(qiáng)，反之越小。

測量原理與方法： .

四探針法： .

最主流、最推薦的碳素材料塊體/薄膜測試方法。 .

優(yōu)點(diǎn)： .  ；有效消除接觸電阻和引線電阻的影響，測量精度高，尤其適合中等電阻率材料（碳素材料大多在此范圍）。

缺點(diǎn)： .  ；需要樣品表面平整，探針間距需精確（或已知），邊緣效應(yīng)需修正（尤其是小樣品）。

類型： .  ；直線四探針（最常用）、方形四探針（范德堡法，適合不規(guī)則薄片）。

兩電極法 ；  ；四線制： .

在樣品兩端施加電流電極，在更內(nèi)側(cè)測量電壓電極。

優(yōu)點(diǎn)： .  ；接線相對簡單，可通過四線制消除引線電阻影響。

缺點(diǎn)： .  ；電流分布不如四探針均勻，接觸電阻仍可能對電壓測量點(diǎn)有影響（盡管四線制已大幅降低），精度通常低于四探針法。適用于電阻率較高或較低，或形狀受限的樣品。

非接觸法（渦流法）： .

優(yōu)點(diǎn)： .  ；完全無損，無需接觸樣品，速度快，適合在線或快速篩查。

缺點(diǎn)： .  ；測量精度通常低于接觸法（尤其對薄層或復(fù)雜形狀），需要校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)樣品，測量的是“等效電阻率”，受材料磁導(dǎo)率、厚度、表面狀況影響較大。更適合均勻?qū)w（如金屬箔）。

阻抗分析法： .

施加交流信號，測量復(fù)數(shù)阻抗。

優(yōu)點(diǎn)： .  ；可以區(qū)分材料的電阻分量和電容/電感分量（對某些復(fù)合碳材料有用），可選擇合適頻率避免極化效應(yīng)。

缺點(diǎn)： .  ；儀器更復(fù)雜，數(shù)據(jù)分析更復(fù)雜，主要用于研究而非單純電阻率測量。

金屬的電阻率較小，合金的電阻率較大，非金屬和一些金屬氧化物更大，而絕緣體的電阻率極大。鍺、硅、硒、氧化銅、硼等的電阻率比絕緣體小而比金屬大，我們把這類材料叫做半導(dǎo)體(semiconductors)。

總結(jié)：常態(tài)下（由表可知）導(dǎo)電性能 ；好的依次是銀、銅、鋁，這三種材料是 ；常用的，常被用來作為導(dǎo)線等。銀的價(jià)格偏貴，因此銅用的 ；為廣，幾乎所有應(yīng)用的導(dǎo)線都是銅制作的（精密儀器、特殊場合除外）。鋁線由于化學(xué)性質(zhì)不穩(wěn)定容易氧化已被淘汰。由于鋁密度小，取材廣泛，且價(jià)格比銅便宜，被廣泛用于電力系統(tǒng)中傳輸電力的架空輸電線路。為解決鋁材剛性不足缺陷，一般采用鋼芯鋁絞線，即鋁絞線內(nèi)部包有一根鋼線，以提高強(qiáng)度。銀導(dǎo)電性能 ；好，但由于成本高很少被采用，只有在高要求場合才被使用，如精密儀器、高頻震蕩器、航天等。在某些場合儀器上觸點(diǎn)也有用金的，因?yàn)榻鸬幕瘜W(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，并不是因?yàn)槠潆娮杪市∷隆?/p>

以下是關(guān)于高溫電阻率測試儀的綜合信息整理：

一、主要功能與技術(shù)特點(diǎn)

. 測量原理 . ：普遍采用三電極法設(shè)計(jì)，符合《GB/T 10518-2006》標(biāo)準(zhǔn)，可測量絕緣材料在高溫下的電阻和電阻率，適用于陶瓷、硅橡膠、PCB等材料。

. 溫度范圍 . ：部分型號支持-160℃至1000℃寬溫域測試，控溫精度可達(dá)?0.5℃。

. 安全設(shè)計(jì) . ：具備過壓、過流、超溫保護(hù)及斷電數(shù)據(jù)保存功能，確保測試安全性和數(shù)據(jù)完整性。

. 抗干擾能力 . ：采用三軸連接器和屏蔽技術(shù)，測量分辨率高達(dá)1fA（10^-15 A）。

二、典型應(yīng)用場景

. 材料研究 . ：半導(dǎo)體材料（如硅、砷化鎵）、絕緣材料（云母、四氟材料）的電阻率隨溫度變化分析。

. 工業(yè)檢測 . ：耐火材料、碳素制品的高溫導(dǎo)電性能評估

選購建議

. 科研需求 . ：優(yōu)先選擇支持變溫、恒溫模式及數(shù)據(jù)曲線分析的型號（如HTIM系列）。

. 工業(yè)場景 . ：注重設(shè)備耐用性和環(huán)境適應(yīng)性（如德力西接地電阻測試儀，耐高溫設(shè)計(jì)）電商榜單^。

品質(zhì)保證：

一年保修，終身維護(hù)！

北廣產(chǎn)品銷往北京、上海、廣東、河南、浙江、河北、江蘇、湖南、內(nèi)蒙、山東、四川、廣州、江西、西北、云南、深圳、吉林、南京、嘉興、佛山、蘇州、杭州、西安、潥陽、長春、江蘇、平頂山、安徽、金水、金華、海南、廊坊、天津、成都、揚(yáng)州、東莞、濟(jì)南、南通、株洲、保定、貴州、宜興、嘉興、黑龍江、漳州、成都、重慶、咸陽、濟(jì)南、紹興、杭州、拉薩、山西、惠州、滄州、江西、沈陽、武漢、沈陽、昆明、鶴山、許昌、青海、寧波、醴陵、淄博、瑞安、阜新、合肥、長沙、常州、瑞安、青島、無錫、濟(jì)寧、醴陵、廈門、河源、樂清、煙臺(tái)、福州、龍口、徐州、唐山等地銷售。

注意事項(xiàng)1、該儀器初始的包裝材料需小心保存，安裝需由本公司的專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行操作。2、若儀器由于任何原因必須返修，必須將其裝入原紙箱中以防運(yùn)輸途中損壞。3、在開機(jī)前，操作者要首先熟悉操作方法。

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