供應(yīng)

某鋰硫電池制造商采用伯東KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助濺射沉積制備鋰硫電池正極片.

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源型號(hào)	RFICP380
Discharge 陽(yáng)極	射頻 RFICP
離子束流	>1500 mA
離子動(dòng)能	100-1200 V
柵極直徑	30 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長(zhǎng)度	39 cm
直徑	59 cm
中和器	LFN 2000

 

工藝流程:

該正極片的制備在離子束濺射室內(nèi)進(jìn)行, 將鋁箔作為基片, 將定量的塊體硫和塊體碳作為靶材.

在開始工藝前, 需要將離子束濺射室抽真空后, 然后利用KRI 射頻離子源 RFICP380 將通入的氬氣離化為氬離子, 氬離子束以不同的功率交替轟擊塊體硫和塊體碳, 將硫原子和碳原子分別濺射出來(lái), 沉積到鋁箔表面, 即獲得帶有硫碳復(fù)合材料的鋰硫電池正極片.

 

KRI 射頻離子源 RFICP380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動(dòng)能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動(dòng)控制器, 一鍵自動(dòng)匹配

8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅(jiān)固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

 

為了給離子束濺射室提供 10-4 Pa真空度, 該制造商采用伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700抽真空. 其技術(shù)參數(shù)如下:

2707-Operating voltage: V DC	48 (? 5 %) V DC
Ar 的壓縮比	> 1 ? 1011
Ar 的抽速	665 l/s
Ar 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s
H2 的壓縮比	4 ? 105
H2 的抽速	555 l/s
H2 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s
He 的壓縮比	3 ? 107
He 的抽速	655 l/s
He 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s
I/O 接口	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus
N2 的壓縮比	> 1 ? 1011
N2 的抽速	685 l/s
N2 的最大預(yù)真空	11 百帕
N2 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量	6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s
不帶氣鎮(zhèn)的最終壓力	1 ? 10-7 百帕
允許冷卻水的溫度	15 – 35 ?C 攝氏度
冷卻水消耗最小值	100 l/h
冷卻水耗量	100 l/h
冷卻類型, 可選項(xiàng)	空氣
冷卻類型, 標(biāo)準(zhǔn)	水
聲壓水平	≤50 dB(A) 分貝 (A)
安裝方向	任何
排氣連接	G 1/8"
接口, 擴(kuò)展	Profibus
方位	混合動(dòng)力
最大允許磁場(chǎng)	6 mT
根據(jù) PNEUROP 的最終壓力	< 1 ? 10-7 百帕
電子驅(qū)動(dòng)單元	帶有 TC 400
電流最大值	8,75 A
耗電量 max.	420 瓦
轉(zhuǎn)速 ± 2 %	49,200 rpm | 49,200 min-1
轉(zhuǎn)速可變化	60 – 100 %
運(yùn)行時(shí)間	2 分
連接法蘭（入口）	DN 160 ISO-F
連接法蘭（出口）	DN 25 ISO-KF/G ?"
重量	12.1 千克
防護(hù)等級(jí)	IP54

 

運(yùn)行結(jié)果:

能夠精確控制濺射量, 獲得混合均勻的硫碳復(fù)合材料.

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

 

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