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上海伯東日本 Atonarp Aston? 質(zhì)譜儀保護(hù)環(huán)境免受有害氣體排放污染
半導(dǎo)體和薄膜太陽(yáng)能工藝使用并產(chǎn)生各種工藝氣體和顆粒材料副產(chǎn)品, 有害氣體需要以受控方式進(jìn)行處理. 許多廢料的處理受環(huán)境法規(guī)的規(guī)定，如美國(guó) NESHAP 標(biāo)準(zhǔn). 此規(guī)則規(guī)定的主要有害空氣污染物包括但不限于占有害空氣污染物排放總量 90% 以上的五種化學(xué)物質(zhì): 鹽酸 HCl , 氟化氫 HF, 乙二醇醚, 甲醇, 和二甲苯.

美國(guó)環(huán)境保護(hù)局對(duì)混合空氣毒物工藝通風(fēng)孔 (有機(jī)和無(wú)機(jī)) 的排放限值為 14.22 PPM（按體積計(jì)算）. 監(jiān)測(cè)并銷毀額外的全氟化碳?xì)怏w PFC 和硅烷 SiH4 等自燃?xì)怏w.

問(wèn)題
減排面臨著多重挑戰(zhàn). 需要監(jiān)測(cè)來(lái)自減排系統(tǒng)的環(huán)境廢氣, 以確保符合法規(guī)要求, 需要一款具有高靈敏度, 實(shí)時(shí), 現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量, 且精度達(dá)到 PPM 級(jí)的質(zhì)譜分析儀. 此外, 優(yōu)化減排需要測(cè)量廢氣中進(jìn)入減排系統(tǒng)的污染物濃度, 從而可以調(diào)節(jié)氮?dú)庀♂尯蜏p排燃燒氣體消耗量, 以確保快速去除污染物. 天然氣 (甲烷) 通常用于普通燒洗減排系統(tǒng)中的高溫?zé)釟怏w分解, 優(yōu)化其使用可降低減排過(guò)程成本和二氧化碳排放.

上海伯東 Aston? 質(zhì)譜分析儀提供有害氣體排放污染解決方案: 數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的減排
許多減排系統(tǒng)是“開(kāi)環(huán)”運(yùn)行的, 導(dǎo)致天然氣和氮?dú)庀牧枯^高. 此外, 通常不會(huì)對(duì)減排成功的分析數(shù)據(jù)進(jìn)行監(jiān)控和記錄, 從而使公司面臨環(huán)境監(jiān)管責(zé)任. 使用 Atonarp Aston? 質(zhì)譜分析儀, 可以根據(jù)進(jìn)入的廢氣濃度和測(cè)量的排放氣體數(shù)據(jù), 記錄日志, 對(duì)減排燃燒過(guò)程進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)優(yōu)化控制, 以記錄環(huán)境合規(guī)性. Aston? Plasma 質(zhì)譜分析儀能夠承受嚴(yán)酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體, 并能提供低至 PPB 水平的靈敏度.  通過(guò)快速, 準(zhǔn)確的現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量, 實(shí)現(xiàn)快速地減排氣體監(jiān)測(cè)和廢氣環(huán)境合規(guī)性.

Atonarp  Aston? 質(zhì)譜分析儀技術(shù)參數(shù)

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