技術

  由元素六有限公司與Strathclyde大學的英國皇家物理學會的光子學研究院聯(lián)合主導的微加工金剛石裝置開發(fā)已獲得了完全的成功。由英國貿易與工業(yè)部 部分出資贊助的MIDDI項目的目標是，發(fā)展世界領先的金剛石微電子器件制造技術，提供給歐洲企業(yè)與日本和美國的競爭優(yōu)勢。
       MIDDI的重點是高度微觀和納米尺度制造技術工具箱的開發(fā)，這種工具箱可被用于開發(fā)下一代，基于人造金剛石單晶的高頻、高能電子器件。元素六公司已經在化學氣相沉積法制造電子器件等級人造金剛石制造業(yè)取得了世界領先。MIDDI大大加深了這一領先。
       英國皇家物理學會的作用是提供在等離子腐蝕技術方面的專業(yè)知識，制造裝置時要求用到這些定義精確的表面特征的專業(yè)知識。該機構創(chuàng)建于1995，現(xiàn)已成為材 料腐蝕專業(yè)知識的中心，并且處理了一些傳統(tǒng)意義上難以解決的材料。該機構的研究興趣包括半導體材料與器件,實踐的,全固態(tài)激光發(fā)生器,微觀發(fā)光二極管陣列 和各種各樣的應用，特別是在生物光子學。
      擔任英國皇家物理學會的協(xié)理董事的Prof Martin Dawson評論到“MIDDI工程已經成為一個英國大學和工業(yè)能夠成功地合作開發(fā)新技術的經典案例。元素六公司提出工程要求和提供高等級的受控摻雜特征 金剛石結構;大學通過開發(fā)一種新穎的干刻蝕方法來滿足其要求，這是共同獲得專利的。這打開了通往真正可制造金剛石電子器件的道路，同時也為一大群新技術擴 展了定義，其中包括金剛石電子學，借助于元素六公司的支持，Strathclyde大學現(xiàn)在已獲得了顯著的地位。
      這個工程已經在三個領域獲得顯著的成果，這將幫助元素六公司支持金剛石制造放射電子器件的開發(fā)。首先，改善了具有在原子級仍然低粗糙度表面的基底和外延層 的合成與加工技術。制造高精度納米尺度的金剛石層的能力是依靠許多復雜的合成和加工步驟。對于一些高頻放射電子器件，一些單層的厚度要求僅為幾納米。另 外,這些層需要原子級表面光滑的和極其的清晰的摻雜剖視圖。
     其次,元素六公司現(xiàn)在能夠在納米尺度上沉積硼摻雜金剛石薄層.為有源開關提出的裝置觀念是基于金剛石，就像三角金屬半導體場效應晶體管使用這樣的薄層夾在 二層不摻雜的純金剛石層以支持晶體管作用一樣.最后,MIDDI已經導致一種健全的和可再生的適于晶體管裝置制造的干刻蝕技術的產生。
     這些成果為元素六公司新的子公司，Diamond Microwave Devices Ltd成立打下了基礎，該子公司的目標是開發(fā)世界第一個的商用高頻高能金剛石晶體管。在MIDDI標準下發(fā)展的技術也可使應用于其他領域的高級金剛石技術 受益，例如用于輻射探測器和微觀視覺裝置。