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上海某大學研究中心采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380 輔助制備三維原子探針樣品, 主要是對三維原子探針樣品進行蝕刻, 使樣品變薄
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數(shù):
射頻離子源型號 | RFICP380 |
Discharge 陽極 | 射頻 RFICP |
離子束流 | >1500 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 30 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 15-50 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長度 | 39 cm |
直徑 | 59 cm |
中和器 | LFN 2000 |
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運行結果:
1. 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380可以克服鋯合金脆斷的問題
2. 制備得到的樣品滿足了三維原子探針觀察樣品的要求
3. 可實現(xiàn)三維原子探針樣品的快速, 便捷, 高效制備
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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